第337章 这些难题有劲儿！决神出歌了？加更(1/2)

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    “行！”



    林决眼神兴奋，轻轻按下按钮，打开了模组舱门。



    下一刻。



    真空舱门沿着导轨打开，一股干燥的空气注入。



    林决伸头去看，便见整个内部都是银灰金属材质腔体。



    “原来这就是超黑消光内壁......老说，我看胡院士的手稿中说，这就是用真空镀膜工艺做的无机纳米级黑消光涂层？”



    陈望山点头，



    “是的！这是为EUV波段专门定制的，吸收率能够达到99.99以上。”



    “哈......”



    林决笑了笑。



    心中默念，【超频】启动！



    下一刻。



    林决视野中。



    腔体内部忽然活了起来。



    他仿佛清晰看到。



    那些高能EUV光在进入腔体后开始暴走。



    它们乱窜，叠影，到处飞散。



    但很快.....



    这些光落入那片黑色的内壁之中，被完完全全吞噬，一丝不剩！



    光是在脑海感受着这一切，林决仿佛整个大脑都在颤栗。



    “这靠表面纳米级的微观多孔结构，就能将跑乱的杂散光全部锁进结构缝隙，然后通过光的干涉，反复消耗，彻底吸收，杜绝一切无用反射......”



    “精准优雅中，又带着绝对的秩序吗？”



    “很好很强大！”



    他嘴角轻轻咧开。



    眼中的兴奋和炙热肉眼可见。



    要不是这些设备精良到令人发指的程度，林决都想上手触碰触碰，感受感受了。



    与此同时......



    旁边陪同的黄所，在看到林决那狂热的神情后，不禁露出笑容。



    这可是国家最顶级的EUV光学平台，随便一个小器件，都是价值连城！



    这种“玩具”，谁能拒绝！？



    不过嘛.....



    现在国内整个领域，能统领这个实验室的，可能一只手都能数得过来！



    接下来的一个半小时。



    林决又看了看EUV等离子体锡光源发生系统，超精密双工件台系统，以及多层膜反射镜检查镀膜一体机......



    而在近距离接触这些玩意儿后。



    林决心中那股学习的欲望，此时正在不断膨胀和疯涨！



    虽然此时实验室设备并未真正运行。



    但在林决脑海中，在【超频】加持下。



    这里的整个系统，已经开始运转联动着！



    光子的诞生、光路整形、杂光掩灭、精准反射、纳米刻蚀、精密检测.......



    眼前这座国家级实验室里面的所有设备，已经基本复刻的EUV光刻最核心的微观光学原理！



    不过......



    如此精密的系统，却只是系统验证平台和光学实验装置。



    它还并不是大众所熟知的EUV光刻机！



    而真正的光刻机.....



    是在这些原理上，再精密千倍万倍！！！



    林决接下来要做的......



    是将数套精密的的系统耦合，让他们持续稳定运行上亿次的同时，还要消除长期工况下热漂移和振动干扰！



    除此之外.....



    还有纳米级的重复定位精度，满足晶圆产量的持续产能与良品率等等等等.......



    “呼......”



    林决长长吐出一口气。



    这些难题有劲儿，还真是道阻且长啊。



    不过嘛.....

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